HD-SSCK1600-ICP实验平台特点：，

◆适合做菲林（NCVM）、车载、摄像头超硬AR、IR-CUT等滤光片、人脸识别，AR+DLC+AF、NCVM+DLC+AF一次成膜。

◆成膜方式：磁控溅射ICP后离化镀膜，镀率大，成膜致密

◆由CM1进片腔（前处理室）+CM2工艺腔（光学成膜腔）+CM3工艺腔(DLC成膜腔)+CM4(AF成膜室)组成；CM3工艺腔可以模块化切换成光学镀膜腔，各腔可灵活切换工艺配置，适合复杂工艺研发设计制作 。

◆载具挂板可异型设计，制作异型样品

◆可以完成在玻璃、陶瓷、PC板、菲林基底上制成光学膜、颜色膜、硬质膜层、DLC、AF膜，实验应用于手机盖板、摄像头，智能家居、智能穿戴，车载显示等镀膜工艺的膜系系设计开发、设备软硬件测试。