四室及多腔室磁控溅射镀膜设备:
HD-SSCK1600-ICP是一款高兼容性设备,主要生产AR+DLC+AF ,NCVM+DLC+AF,同时可兼容菲林(NCVM)、车载、摄像头超硬AR、IR-CUT等滤光片、人脸识别等产品。
设备镀膜工艺室不破空,功能镀膜腔体分离,互不污染,稳定性重复性优异,采取整鼓平移连续的方式,省去抽放气时间,极大提高生产效率。
◆工件转动:1~120r/min无极可调
◆极限真空:<2.0E-4Pa
◆膜层均匀性: ≤1%(T Max.-Tmin.)/( T Max.+Tmin.)
◆有效镀膜尺寸:Φ1600mm*H800
◆特点:四个功能腔室,互不污染,单腔体实现功能可做模块化调整。
◆标准配置:CM1:前处理室(plasma),CM2:光学镀膜室(AR、NCVM等),CM3室:DLC 镀膜室,CM4室:AF 蒸发室
◆优势产品:AR+DLC+AF; NCVM+DLC+AF 钢丝绒耐磨5000次水滴角大于100度,莫氏硬度>8(500g)