三室及多腔室磁控溅射镀膜设备：

     三室磁控溅射镀膜机是一款高兼容性设备，采用反应溅射模式，适合做菲林（NCVM）、车载（AR）、3D车载（AR）,以及AR+AF.。可制备NB2O5、SIO2 、SI3N4、SIH、Cr、In等不同膜层， 兼容3D 异型车载玻璃。

◆工件转动：1~120r/min无极可调
◆极限真空：<2.0E-4Pa
◆膜层均匀性： ≤1%（T Max.-Tmin.）/( T Max.+Tmin.)
◆有效镀膜尺寸：
     HD-SCK1600有效溅射高度850mm
     HD-SCK1800有效溅射高度1250mm
     HD-SCK1800有效溅射高度1500mm