双室磁控溅射镀膜机HD-CK1600-ICP是一款高兼容性设备,适合做菲林(NCVM)、车载、摄像头超硬AR、IR-CUT等滤光片、人脸识等产品;可制备NB2O5,SIO2 ,SI3N4,SIH,Cr,In等不同膜层,镀膜工艺室不破空,稳定性重复性优异,采取整鼓平移连续的方式。
◆工件转动:1~120r/min无极可调
◆极限真空:<2.0E-4Pa
◆膜层均匀性: ≤1%(T Max.-Tmin.)/( T Max.+Tmin.)
◆有效镀膜尺寸:
HD-CK1600-ICP有效溅射区域Φ1600mm*H800mm